第541章 终于对上了！ (第1/2页)
联合攻关第二十七天。
上午九点，整机测试中心。
老梁把最新一份检测报告拍在桌上，盯着那几处标红的数据，眉头拧得能夹死蚊子。
“又是这里。”
第一轮完整曝光链路跑通以后，他们没有停下来庆祝。
二十天里，设备窗口几乎排得满满当当。
光源、反射光学、工件台、计量控制，每个组都拿出了实打实的改进。
如今，连续完成多轮对准曝光已经不是难题。
真正麻烦的是，印出来的图形，有些区域对得很准，有些区域却总要偏上一点。
同一片晶圆，中心位置漂亮，边缘几处却总过不了预定的阶段标准。
“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再这么试下去，怕是真得延期。”
坐在旁边的计量组负责人没反驳。
谁也不愿意延期。
可技术这东西，不是喊两句口号就能变好的。
更何况，三十天的期限是他们自己定的。
做不到照实汇报就是了，没人会拿设备安全和检测数据开玩笑。
陈知远却没接话。
他正翻着过去几轮的晶圆检测结果。
一张，两张，三张。
几组分布图在屏幕上来回切换。
忽然，他停住了。
“梁老师，把这三张叠到一起。”
“嗯？”
“再加上各自曝光之前的晶圆形貌测量。”
老梁没多问，直接招呼人调数据。
几分钟后，一张新的对照图出现在屏幕上。
陈知远伸手点了点右上角。
“看这里。”
老梁凑过去：“这不是之前那几处对不准的地方吗？”
“对，但你看它们偏的方向。”
陈知远把其中一张图放大，又将另一组测量数据移到旁边。
“我们一直按整片晶圆的统一基准去修正位置，可这些偏差不是整片一起往一个方向跑。”
“部分区域的形貌变化不同，原来的统一校正把一些地方修好了，也把另一些地方带偏了。”
计量组负责人听到这里，表情慢慢变了。
他盯着屏幕，过了好几秒才道：“你是说，我们缺的不是再提高一次全局定位精度，而是把分区域的误差单独考虑进去？”
“至少这几组记录支持这个方向。”
陈知远点头。
在【真理之眼】的帮助下，那些分散在不同测试批次中的细微差异，像被一根看不见的线串了起来。
这不是凭空冒出来的答案。
过去二十多天，几家研究所的技术资料、设备记录和检测报告，他几乎全部看过。
该懂的原理、该了解的限制，早已在脑海里形成了一套完整的框架。
此刻，他只是比别人更快地看到了那块一直没拼上的地方。
“先别动设备。”陈知远说，“拿前几轮的数据做离线验证，用一部分建立区域误差映射，剩下的别参与调整，直接拿来检验。”
老梁一下来了精神。
“行！”
他转身就招呼人。
原本还有些沉闷的工作室，突然又忙了起来。
中午十二点。
第一版离线结果出来。
下午两点，第二批没有参与建模的历史数据也得到改善。
到了傍晚，计量组负责人盯着最后一份报告，终于忍不住笑了。
“真让你找着了！”
老梁一把拿过报告，翻了两页，又抬头看向陈知远。
“你这脑子到底怎么长的？”
“正常长的。”陈知远笑道，“就是比你们少走了点弯路。”
“你管这叫一点？”
老梁被气笑了。
可笑过之后，他又低头看了眼那份报告。
二十多天。
那么多人把每个系统都翻来覆去地查，偏偏没想到把晶圆不同区域的形貌变化和对准误差这样放在一起看。
最让他服气的，还不是陈知远想到了这个方向。
而是这小子一旦判断出问题，几乎立刻就知道该用什么现成的数据来证明，甚至连验证可能踩到的坑都提前避开了。
这才是真正吓人的地方。
当天晚上，周启山看完报告，直接批准了下一轮受控测试的准备工作。
设备检查、风险复核、原控制方案保留、独立计量安排，一项没省。
陈知远也没打算通宵守在控制室里。
把关键安排确认好，他照常回去休息。
这些天，他每天该睡就睡，第二天却总是第一个能把问题想清楚的人。
老梁本来还想劝他年轻也别硬撑，后来想想，最需要劝的好像是自己。
奇怪的是，和陈知远连续共事这阵子，他晚上反倒比之前睡得踏实了。
“项目有盼头了，觉都好睡。”老梁自己给自己找了个解释。
第二十九天。
上午十点。
三位牵头院士都来到了整机测试中心。
周启山端着保温杯，站在监控屏幕前。
“最后确认一次。”
“测试流程和退出条件全部复核完毕。”
“独立计量组已就位。”
“样片编号完成，检测标准不作临时调整。”
一项项回答落下。
周启山看向陈知远。
“开始？”
“开始吧。”
陈知远点头。
设备按程序运转。
没有惊天动地的声响，也没有什么炫目的光芒。
控制室里，只有一行行平静变化的状态数据。
可在场的每个人，都知道今天这场测试意味着什么。
他们不再只是证明设备能把图形印出来。
他们要证明，在预定的受控条件下，原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。
第一片测试晶圆完成曝光，送去检测。
等待的时候，老梁想喝口水，拧开杯子才发现里面早空了。
“你紧张什么？”陈知远瞥了他一眼。
“废话。”老梁把杯子放下，“你小子倒是坐得住。”
陈知远笑了笑。
他当然也期待结果。
只不过，能做的工作都已经做到位了，剩下的就交给数据。
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